Pengaruh Dosis ion terhadap Kekerasan Permukaan Baja VCL 140 akibat Implantasi ion Titanium Nitrida

Abstract

Implantasi ion dapat meningkatkan sifat mekanik logam khususnya kekerasan permukaan material. Implantasi ion dipengaruhi oleh dosis ion yang digunakan. Penelitian ini dilakukan untuk mengetahui pengaruh dosis ion titanium dan nitrogen terhadap kekerasan pada baja VCL 140. Implantasi dilakukan pada arus berkas tetap 10 μA. Variasi waktu 60, 70, 80, 90, 100, 110, 120 menit, energi 75 keV dan variasi energi 15, 30, 45, 60, 75, 90 dan 100 keV dengan waktu implantasi 100 menit dilakukan untuk mendapatkan kekerasan optimum. Uji Kekerasan menggunakan metode Vickers dengan beban 10 gram dan waktu 10 detik. Program Simulasi SRIM digunakan untuk membandinkan kedalam jangkauan ion pada proses implantasi. Hasil penelitian menunjukkan kekerasan optimum diperoleh 551 VHN pada dosis ion 2,12 x 1017 ion/Cm dengan kedalaman jangkauan ion titanium 4281.76 Å dan ion Nitrogen 6212.28 Å.